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產品展示 > 美國MKS產品 > 氣體流量\壓力測量和控制器(儀)
 
MASS-FLO® 系列金屬密封質量流量控制器
• 1479A/179A 質量流量控制器/質量流量監視器
其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm,各種模擬和數字通訊口可選。
• M330B 低壓質量流量控制器
其滿量程范圍從 5–100 sccm。
• M330H 高溫型(150℃)質量流量控制器
其滿量程范圍從10sccm – 40 slm 。
 

 
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