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產品展示 > 美國MKS產品 > 氣體流量\壓力測量和控制器(儀)
 
MASS-FLO® 系列橡膠密封質量流量控制器
  • 1179A/2179A 質量流量控制器/帶截至閥質量流量控制器
    其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm,模擬和數字通訊口可選。
  • M100B/M10MB 質量流量控制器/質量流量監視器
    其滿量程范圍從10 sccm–50 slm
  • 1559A/558A 大流量質量流量控制器/質量流量監視器
    其滿量程范圍從20– 200 slm
  • 1579A/579A 大流量質量流量控制器/質量流量監視器
    其滿量程范圍從50 – 300 slm
 

 
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