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產品展示 > 美國MKS產品 > 氣體流量\壓力測量和控制器(儀)
 
以壓力為基礎的流量控制器

·DELTA® II流量比例控制器
流量比例控制器隨著DELTA 流量比例控制器的使用,優化工藝結果將變得容易。它可將混合的工藝氣體按比例分為兩路以提高均勻性等工藝參數。比例可
1:11:20。
·Tru-Flo® 質量流量檢測器
是一款緊湊型的診斷儀器。它在已知的腔體體積和溫度的條件下,測量上升的壓力來確定流量。

 

 

 


 

 

 

 
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