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產品展示 > 美國MKS產品 > 等離子體電源及反應氣體發生器
 
反應氣體發生器

ASTRON® 系列氟離子發生器:廣泛應用于 CVD 工藝腔清洗,它具有功率大,效率高等特點。
產品有:
ASTRON®i - AX7670 (3 升)
 ASTRON®e - AX7680 (4 升)
•ASTRON®ex - AX7685 (6 升) 
ASTRON®hf - AX7645 (15 升)

 

 
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