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產品展示 > 美國MKS產品 > 等離子體電源及反應氣體發生器
 
用于晶圓工藝等離子體電源
ASTeX® 等離子體電源 廣泛應用于 CVD、 ETCH、去膠等晶圓工藝。
• R*evolution® - AX7690 集成遠程等離子體源用于晶圓工藝
• AX2600 集成等離子體系統
• SmartPower® - AX2500 系列微波電源
• ASTeX® – AX3060 SmartMatch 微波匹配器
• ASTeX® – AX7610 下游等離子體源
 

 
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