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產品展示 > 美國MKS產品 > 等離子體電源及反應氣體發生器
 
臭氧發生器
SEMOZON® 臭氧發生器及集成系統,LIQUOZON® 臭氧水循環系統:廣泛應用于 CVD ,去膠和濕法清洗等工藝。
• O3MEGA® AX8561 臭氧發生器集成系統
• SEMOZON® AX8500 系列臭氧發生器集成系統
• SEMOZON® AX8400 系列臭氧發生器
• LIQUOZON® Smart 臭氧水遞送系統:提供高濃度、大流量臭氧水
• LIQUOZON® Single 臭氧水遞送系統:緊湊型設計,適合于單片硅片清洗系統
 LIQUOZON® LoopO3 臭氧水循環遞送系統:緊湊型設計,帶循環水泵,主要用于硅片清洗工藝
• LIQUOZON® 100XF 臭氧水遞送系統
 

 
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