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產品展示 > FILMETRICS薄膜測量系統 > F80系列:產品晶圓薄膜厚度的自動測繪儀
 
F80:產品晶圓薄膜厚度的自動測繪儀

F80系列:圖案化半導體的自動測繪
F80-t系列:能滿
足生產環境的產品晶圓臺式測繪系統,21 秒內能測量 15 個點。
F80-c系列:F80-t 的基礎上加入晶圓自動傳輸,能夠測量大到 300mm 的晶圓。  

F80-a 系列:配備晶圓分類輸送的自動測繪系統,支持大到 300mm 的晶圓。

 

 
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