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倒磁控管真空規
  Varian 倒磁控管真空規不僅能夠提供準確而高重復性地真空度數,而且能夠應用于惡劣及腐蝕性的環境。真空測量上的性能和 BA 規相近,但清理和維修如同普通冷陰極規一樣簡單,卻沒有其他普通冷陰極規在使用中的局限性。它的這些特點使其尤其適合于諸如真空爐等工業系統中 --在這些環境中,耐久性是最重要的指標。適用于超高真空的IMG 倒磁控規可測量非常低的真空度,且能夠在低至 10-11 torr 的壓力下啟動。同時,即使還連接著電纜,適用于 UHV 的IMG 規也能夠耐受非常高的烘烤溫度。
 

 
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