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產品展示 > Kosaka精密儀器 > 臺階儀系列
 
ET-200型

是一款性價比很高的接觸式臺階儀,主要性能指標如下:
1、測定工件要求
最大尺寸:Ф160mm
最大厚度:50mm
最大重量:2kg
2、檢測器 
(1)Z方向測定范圍:Max. 600μm
(2)Z方向分解能力:0.1nm
(3)測定力:min.1mgf, max.50mgf
(4)觸針半徑:2 μm
(5)驅動方式:直動式
(6)再現性:1σ = 1nm
3、X軸(基準軸)
(1)移動量(最大測長):100mm
(2)移動的真直度:0.2μm/100mm
(3)移動、測定速度:0.02 ~ 10mm/s
(4)線性度:分解能力0.1μm
4、Z軸 
(1)移動量:50mm
(2)移動速度:max.2mm/S
(3)檢測器自動停止功能
(4)分解能力:0.2μm
5、工件臺
(1)工件臺尺寸:Ф160mm
(2)機械手動傾斜量:±1mm/150mm
6、工件觀察:max.110倍(可選購其它高倍率CCD)
7、床臺:材質為花崗巖石
8、防振臺(選購):落地型或桌上型
9、電源:AC100V±10%,50/60HZ, 300VA
10、外觀尺寸及重量:W494×D458×H610mm, 120kg(不含防振臺)

 

 
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