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產品展示 > Kosaka精密儀器 > 臺階儀系列
 
ET-4000型
1、ET-4000系列具有以下顯著優點:
(1)高精確性、穩定性和重復性;
(2)最適合用于自動測量FPD、晶片、磁盤,和與納米材料相關物件的表面特性、臺階高度和粗糙度。
2、測定工件要求
最大尺寸:210×210mm~300×400mm
傾斜度:±1mm/150mm
最大重量:2kg
3、檢測器 
(1)測定范圍:100μm
(2)傳感器:位移傳感器
(3)測定力:0.5uN~500uN(0.05mgf~50mgf)
(4)觸針半徑:2 μm
(5)再現性:1σ  0.5nm
4、X軸(基準軸)
(1)移動量(最大測長):100mm
(2)移動的真直度:0.005μm/5mm(0.1um/100mm)
(3)移動、測定速度:0.005 ~ 2mm/s
(4)重現性:±5μm
5、Y軸 
(1)移動量:150~400mm
(2)移動的真直度:5μm/150mm
(3)重現性:±5μm
6、Z軸
 移動量:52mm
7、放大倍數
 垂直:50~2000000,水平:1~10000
8、監測系統
  照相機:1/2inch CCD(768×494 pixels),并配套數據采集卡
9、床臺:材質為花崗巖石
10、防振臺(選購):落地型或桌上型
11、電源:AC100V±10%,50/60HZ, 800VA
10、外觀尺寸及重量:W660×D580×H660mm, 200kg(不含防振臺),不同型號尺寸和重量會有差異
 

 
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